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固化扩散灯罩
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固化扩散灯罩

在半导体RTP设备中,固化扩散灯罩是利用真空钎焊等技术制造的核心组件,它被设计为带有水冷和控温功能的透光封罩,用于固定并隔离高强度卤素灯,同时通过内置的反射器或透镜将灯源发出的辐射热能精准、均匀地导向晶圆表面,以实现毫秒级精准控温下的快速热处理。

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产品描述


 

固化扩散灯罩( 真空钎焊 )

半导体RTP设备是用于实现晶圆快速热处理的专用装置,通过毫秒级精准温控优化芯片性能,LH具有水冷(内部有水循环系统)和控温功能,卤素灯可以固定在其上面。

其中,固化扩散灯罩是利用真空钎焊等技术制造的核心组件,它被设计为带有水冷和控温功能的透光封罩,用于固定并隔离高强度卤素灯,同时通过内置的反射器或透镜将灯源发出的辐射热能精准、均匀地导向晶圆表面,以实现毫秒级精准控温下的快速热处理。

 

技术优势

 

1. 客户痛点

该产品依靠进口,时效差,响应慢,价格昂贵。

 

2. 解决方案

攻克了机加工、材料表面处理、焊接、检漏、清洗等关键工序,实现了产品国产化。

 

 

 

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