产品描述
精密导电杆 （ 可伐合金 ）
精密导电杆组件可以根据不同半导体工艺设备需要提供高度灵活的组合，采用高精度标准化接口设计，整体性能满足超高真空设备的苛刻安装和升级改造需求。
通过复合材料中间过渡层解决金属导电体与高温绝缘陶瓷封装材料的热膨胀系数匹配问题，彻底解决异质材料膨胀系数不匹配带来的焊接开裂隐患。超高真空兼容气密封接+高导电低损耗输入+热膨胀匹配结构设计+多针超高密度集成技术。
技术优势
1. 极致的高真空与超高真空兼容性
采用独一无二的一体化陶瓷‑金属先进制备技术，适应高频清洁更换反应腔体和连续不间断生产的严苛考验。
2. 优异的导电性能与低传输损耗设计
既具备高导电性能，又有丰富的抗腐蚀与稳定匹配能力。
3. 出色的射频集成与屏蔽特性
保障高频能量稳定馈入到晶圆上方的等离子体区，实现高均匀性的单片晶圆工艺。
标签：
精密导电杆
相关产品
免费获取产品报价
我们的工作人员将会在24小时之内（工作日）联系您，如果需要其他服务，欢迎拨打服务热线：18594983359
抖音二维码
微信号
微信公众号
