产品描述
馈通管（ 真空馈入件 ）
应用于PVD设备的精密馈通管，集高真空密封、高电压大电流承载、耐高温、耐腐蚀、低放气等多重性能于一体，是保障PVD镀膜工艺稳定运行的关键零部件。可实现腔内与腔外电气互联的核心零部件，广泛应用于溅射、蒸发镀膜、离子镀等工艺场景。
凭借先进的陶瓷-金属钎焊密封工艺、高标准材料选型和灵活的多接口配置，馈通管能够可靠跨越真空边界，实现能量、信号与介质的精准传输。适合半导体、航空航天、刀具模具、光电显示等PVD应用领域。
技术优势
1. 极致的高真空密封性能
精密馈通管采用成熟的陶瓷-金属高温钎焊密封结构，消除PVD腔体运行过程中的气体泄漏风险，确保腔体长期维持高真空水平。
2. 优异的电气性能与抗干扰能力
具备良好电气绝缘性能与介电强度，为实现自动化和精密控制提供可靠保障。
3. 卓越的耐高温与热循环稳定性
采用高温真空钎焊工艺将陶瓷与金属永久性接合，在频繁启停和温度循环条件下可保持密封界面的长期稳定。
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精密馈通管
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